热区
热区是高温炉的关键部件,影响着整个系统的运行。高温工艺中的各种关键因素包括温度分布、工艺纯度和能耗都与热区直接相关。在 1000℃ 至 2800℃ 的工作温度下,金属热区是各种高温炉的首选。
全金属热场中的所有零件均由金属制成。主要金属为钼、钼镧、TZM、钨和钽等。最常用的金属是钼,其环境温度范围一般为1000-2500℃。环境温度高于2500℃需要用钨,低于1000℃可以使用钢等普通耐热金属。一般高温炉、晶体生长炉和蓝宝石生长炉中的热区为全金属热区。
热区形状可为方形垂直、方形水平、圆形垂直和圆形水平。一般由炉体、隔热屏和支架组成,包括不锈钢桶、不锈钢桶内设钨筒,钨筒内设加热笼,加热笼内设坩埚、钨筒底部设有坩埚支架,坩埚支架与钨筒之间设有下钼隔热屏,钼隔热屏上设有氧化锆纤维板,使热场的温度梯度一致。籽晶夹头组件包括籽晶杆,被挂在加热笼组件内,并伸入坩祸内用于提拉晶体。
热区在直径、形状和设计方面多种多样。因此,我们可以根据您的高温炉和工作温度,确保提供最优的热区:
设计 |
方向 |
温度(℃) |
可用空间(mm) |
防护层 |
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直径 |
宽度 |
高度 |
长度 |
|
圆形 |
垂直 |
>1,650~2,500 |
<500d> |
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>50 |
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W + Mo |
圆形 |
垂直 |
<1,650d> |
<500d> |
|
>200 |
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ML + Mo |
圆形 |
垂直 |
<1,650d> |
>500 |
|
>500 |
|
ML + Mo |
圆形 |
水平 |
<1,650d> |
>200~< 500d> |
|
|
<500d> |
ML + Mo |
圆形 |
水平 |
<1,650d> |
>500 |
|
|
>400 |
ML + Mo |
角形 |
水平 |
<1,650d> |
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>400 |
>400 |
>400 |
ML + Mo |
热区形状:
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