热区

热区是高温炉的关键部件,影响着整个系统的运行。高温工艺中的各种关键因素包括温度分布、工艺纯度和能耗都与热区直接相关。在 1000℃ 至 2800℃ 的工作温度下,金属热区是各种高温炉的首选。

全金属热场中的所有零件均由金属制成。主要金属为钼、钼镧、TZM、钨和钽等。最常用的金属是钼,其环境温度范围一般为1000-2500℃。环境温度高于2500℃需要用钨,低于1000℃可以使用钢等普通耐热金属。一般高温炉、晶体生长炉和蓝宝石生长炉中的热区为全金属热区。

热区形状可为方形垂直、方形水平、圆形垂直和圆形水平。一般由炉体、隔热屏和支架组成,包括不锈钢桶、不锈钢桶内设钨筒,钨筒内设加热笼,加热笼内设坩埚、钨筒底部设有坩埚支架,坩埚支架与钨筒之间设有下钼隔热屏,钼隔热屏上设有氧化锆纤维板,使热场的温度梯度一致。籽晶夹头组件包括籽晶杆,被挂在加热笼组件内,并伸入坩祸内用于提拉晶体。

热区在直径、形状和设计方面多种多样。因此,我们可以根据您的高温炉和工作温度,确保提供最优的热区:

设计

方向

温度(℃)

可用空间(mm)

防护层

 

 

 

直径

宽度

高度

长度

 

圆形

垂直

>1,650~2,500

<500d>

 

>50

 

W + Mo

圆形

垂直

<1,650d>

<500d>

 

>200

 

ML + Mo

圆形

垂直

<1,650d>

>500

 

>500

 

ML + Mo

圆形

水平

<1,650d>

>200~< 500d>

 

 

<500d>

ML + Mo

圆形

水平

<1,650d>

>500

 

 

>400

ML + Mo

角形

水平

<1,650d>

 

>400

>400

>400

ML + Mo

热区形状:

圆形垂直热区图片 圆形垂直热区图片

圆形垂直热区

圆形垂直热区

圆形水平热区图片 圆形水平热区图片

圆形水平热区

圆形水平热区图片

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