钨铼探针
半导体测试探针要求材料具有高纯度和高精度，可以是采用铼钨合金制作而成的合金探针，也可以是采用纯钨制成的纯钨探针。
其中，铼钨合金的接触电阻比钨稍高而抗疲劳性相似。相对于纯钨来说，铼钨合金的晶格结构更加紧密，因此铼钨探针顶端的平面更加光滑。这意味着铼钨探针的顶端被污染的可能性更小，更容易清洁，其接触电阻也比钨更加稳定。
在半导体测试中，探针的其他参数也会影响到测试结果，如针尖的直径与形状、触点压力以及探针台的平整度，等等。因此，钨铼探针具有超细针尖，表面光滑无伤，光洁度能达到Ra0.25以上。
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