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半导体晶体生长用钨坩埚

半导体晶体生长用钨坩埚是指用于砷化镓、单晶硅及氧化物等半导体材料长晶工艺中的高温承载容器部件,可在真空或惰性气氛环境下稳定承载高纯熔体,并为晶体生长提供稳定热场与界面控制条件。

钨坩埚采用高纯钨材料(W≥99.95%),通过粉末冶金烧结、旋压成型及精密机加工制备,适用于高端半导体晶体生长设备。

半导体晶体生长用钨坩埚图片

半导体晶体生长为什么使用钨坩埚?
半导体晶体生长过程通常处于2000℃以上高温热场环境,并伴随长时间稳定保温与周期性热循环,对坩埚材料的结构稳定性与纯净度控制要求极高。
钨坩埚具有超高熔点、极低蒸气压及优良高温蠕变抗性,能够在长晶过程中减少材料挥发与杂质引入,从而提高晶体纯度与尺寸一致性,因此成为半导体晶体生长工艺的重要承载容器。

钨坩埚在半导体晶体生长中的优势
中钨智造钨坩埚具有以下特点:
(1)高温结构稳定性:钨熔点约3410℃,可在长时间热场中保持结构稳定。
(2)低蒸气压特性:减少高温挥发污染,提升晶体纯度与电学性能。
(3)抗蠕变能力强:在长期高温载荷下保持尺寸稳定,降低变形风险。
(4)热场均匀性:有助于形成稳定温度梯度,提高晶体生长一致性。
(5)抗热震性能:适应长晶过程中的复杂热循环与启停冲击。

半导体晶体生长用钨坩埚图片

中钨智造钨坩埚的规格
(1)纯度:W ≥ 99.95%
(2)密度:17.8~18.5 g/cm³
(3)直径:10~700 mm,可定制
(4)高度:20~800 mm,可定制
(5)壁厚:1~35 mm,可定制
(6)表面状态:车削、磨光、去应力处理及高温清洗

钨坩埚通常应用于高温化合物半导体晶体生长及功能氧化物材料体系,例如砷化镓(Gallium Arsenide, GaAs)、磷化铟(Indium Phosphide, InP)及部分氧化锌(Zinc Oxide, ZnO)等高温晶体生长工艺领域。

中钨智造(CTIA GROUP)深耕钨坩埚领域30余年,可根据半导体晶体生长炉热场结构与工艺窗口,对坩埚壁厚均匀性、结构刚性及热场匹配性进行系统优化设计,实现从材料制备到精密加工的一体化解决方案。

 

如有任何钨坩埚的设计、生产、需求、询价等问题,请联系制造商:中钨智造(厦门)科技有限公司

联系电话: 0592 5129696 / 0592 5129595

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